间内,反复检查着一道道工序,想要找出问题的关键所在。
刘焱用特制夹具,夹着一片刚刚下线的硅晶圆,放进晶圆测试仪,按下启动按钮,几秒钟后,测试完成,一条条数据出现在测试仪的屏幕上。刘焱对照仪器使用说明书,研究了片刻,最终还是摇了摇头,叹息道:
“还是废品,上百个芯片,一个能用的都没有。蒙厂长,你那边检测的如何,问题是不是出在晶圆片上。”
蒙小刚从一台显微镜目镜上移开目光,一边记录数据,一边回答刘焱的问题:
“晶圆片表面是存在一些瑕疵,如果加工成芯片,合格率会低一些,可也不会全部是废品,真正的问题,还是出在后道工序上。”