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第259章 p型、n型、共掺杂(3 / 3)


指电脑屏幕的右下角。

陈舟看了一眼,这才惊觉居然已经六点半了。

想了想,陈舟并不打算在四十三所加班,还是回酒店舒服些。

于是,两个人把资料整理好,跟彭飞那边说了一声,便离开了四十三所。

陈舟本来还奇怪彭飞居然一下午没过来找他,打电话时才明白过来。

彭飞这会正忙着金刚石薄膜成品的收集呢。

采用改进工艺制备的金刚石薄膜已经完成。

听彭飞的意思,陈舟估计他今晚又会熬夜加班。

而且还不知他一个人

在外面简单的吃了晚饭,陈舟和沈靖就回到了酒店。

沈靖本打算像先前一样跟到陈舟房间的,结果被陈舟拦了下来。

“晚上好好休息,明天有你忙的。”丢下这么一句话,陈舟就关门进了房间。

门外,沈靖看着被关上的房门,嘀咕道:“这该不会是闭关吧?”

房间里,陈舟迅速打开电脑,掏出草稿纸和错题集。

“就在今晚了”

只扫了一眼,下午的思路便接续上了。

陈舟再次沉浸于n型掺杂和共掺杂的问题研究中。

原本特意准备的一沓崭新的a4草稿纸,随着时间的推移,渐渐变薄。

而他一直所心疼的笔芯,也在以一种超乎常理的速度,不断流逝在草稿纸上。

错题集上的内容,也在不断的增减着。

“不管氮源和磷源的采用的是什么,目的就只有一个”

“不管装置内的系统是什么样的,它都始终只为了制备出掺杂的金刚石薄膜”

陈舟的思路变得清晰起来,方向也逐渐明确。

在四十三所的共掺杂实验中,装置内并没有采用多余的系统作为辅助。

但其实,如果有其它系统辅助的话,可能结果会更好也说不定。

这是国外的一篇献给陈舟的启发。

把写满的草稿纸拿到一边,换上一张新的草稿纸,再把笔芯换上满水的。

陈舟在草稿纸上写到:

在nin5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合,提供氮源和磷源,以此方法掺杂金刚石

写完这句话,陈舟突然笑了出来。

“这么简单的道理,为什么我还想了这么久?”

相比单纯的氮掺杂金刚石,sp3ch3形式的h原子更容易掺入磷氮共掺的金刚石晶格中,提高共掺杂金刚石的质量。

因为在磷氮共掺系统中,磷原子掺入后产生许多缺陷,形成了碳原子悬挂键,有助于氢原子掺入金刚石晶格。

而氢原子可以刻蚀sp2相,有利于高质量金刚石薄膜的沉积。

“系统和氮源、磷源确定后,那共掺杂实验剩下的问题,就好解决了”

陈舟说着,把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。

这是在研究氮源和磷源时,针对不同情况,陈舟所做的参数研究。

这会,正好拿来验证。

一般的衬底温度、掺杂浓度、工作压力等等等等,通过错题集的试错,很快就能得到一个大致区间。

再经过分析模型的验证,再回转到错题集进一步试错。

那就成了!

把共掺杂的问题一解决,那n型掺杂的问题,也就是铺在纸面上的答案了。


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